头系统和双工作台系统。
在上午的新闻发布会上，作为瑞星科技公司的执行总裁兼董事的何玉光看着下面的展馆坐满了来自各国的半导体产商代表和媒体记者，甚至尔英特和超威半导体集团和三桑集团以及艾斯摩尔和康尼精机方面都是派出了代表前来参加了这次的发布会，他心中也是充满了自豪感。
瑞星科技公司成立了十来年，在光刻机产品技术上终于是成了让人无法忽视的存在，就算是尔英特这几年不再采购瑞星光刻机的半导体产商也是不得不派代表过来进行询问了解他们的产品设备技术进展。
没办法，谁让瑞星科技公司的光刻机成了光刻机市场的霸主呢，更何况这家公司光刻机产品技术是最先进的，要想在制程工艺上的进步还是得靠这家公司。
瑞星科技公司向来非常低调，尤其是在光刻机产品设备上面是颇具神秘色彩，从来不向外界公布产品设备的研发进展情况，就连中央电视台方面想进行参观报道都被婉拒了，国内外不少人只能是从瑞星科技公司申请的技术专利上来了解这家公司在光刻机技术研发上的进展。
现在瑞星科技公司这次主动地召开展览会和新闻发布会也是让人嗅到了不一样的味道，不少人也是猜测这家公司可能是在光刻机产品技术上取得了重大的进展才会有这样的举动。
站在台上的何玉光才不会管下面这些来宾到底是抱着什么样的心态，此时他的心情是真的格外地好，他也是操着一口浓浓梧州口音开口说道：“非常感谢各位来宾在百忙之中抽空前来参加我们瑞星公司的新闻发布会……”
台下这些戴着同步翻译器的众多海外代表看到台上正在说话的何玉光，都是神情复杂。
此时何玉光也是首先介绍了瑞星科技公司在光源系统上的技术进展。
“这次我们为大家带来了最先进的深紫外光刻机光源系统，这套光源系统是我们采用了深紫外固态激光光源，通过激光倍频技术我们做到了波长在35纳米的光源，通过我们公司内部技术人员的各种模拟测试，结果表明这套光源可以在征服百分之零点二的输出剂量长时间稳定进行工作，完全可以满足商业光刻机进行扫描照射的要求。”
何玉光一脸自豪地说道：“相比较于之前传统的气体激光光源，我们这套光源并不需要长时间的预热，在非常短的时间里面就可以提高到最大的功率，并且不需要中途进行激光燃料的更换，最大限度地减轻客户的使用成本。”
“现在我们研制的这套光源系统总的输出功率可以做到220瓦，完全可以满足双工件台同时进行工作。经过大量的模拟测试，搭载这套光源系统的光刻机具备每小时刻蚀140张12英寸晶圆的能力。”
在何玉光进行解说的同时，身后的超大屏幕上也是演示了光源系统工作的模拟动画，台下的众人此时都是露出不能置信的神情！
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